吸附式廢氣處理設備參數

優勢特點

吸附式廢氣處理設備具有多種優勢：它能夠有效去除多種有害氣體，包括揮發性有機化合物（VOCs）、硫化氫、氨氣等，適用于化工、制藥、印刷等行業。其次，設備操作簡單，維護成本低，且占地面積小，適合空間受限的場合。此外，通過選擇合適的吸附材料和設計合理的吸附床結構，可以實現對特定污染物的高效去除。

1、處理特氣效率完美

2、運營成本低，無廢水

3、易維護&更換吸附桶方便

4、操作穩定，可PLC/Touch Panel自動控制

5、配置應急或備份吸附桶，無縫切換

6、主要應用行業:Semi、FPD、Solar、LED

7、主要應用工藝:IMP/Etch/MOCVD/廠務等

8、吸附劑容量:100L

水洗式廢氣處理設備參數

優勢特點

水洗式廢氣處理設備具有結構簡單、操作方便、投資成本低等優點。它能夠適應各種規模的半導體廢氣處理需求，特別適用于處理大風量、低濃度的廢氣

1、使用耐腐蝕材料，整體防腐蝕設計

2、維護方便，操作穩定，PLC/Touch Panel自動控制運營成本低

3、主要應用行業:Semi、FPD、Solar、LED

4、主要應用工藝:Etch/廠務等

5、處理容量:600LPM

6、設備處理氣體種類:NH3.CI2.HC.HBr.SO2.NO2等溶于水的氣體

電熱水洗式廢氣處理設備參數

優勢特點

電熱水洗式廢氣處理設備的優勢在于其能夠處理多種類型的廢氣，特別是那些含有水溶性污染物的廢氣。電加熱功能使得設備在處理低溫或寒冷環境下的廢氣時更加高效。

1、采用筒式加熱棒，高加熱效率及均勻熱分布，溫度850℃

2、操作簡便，PLC/Touch Panel自動控制整體防腐設計

3、可選配濕式靜電除塵模塊

4、運行成本低

5、廣泛應用于Semi、FPD、Solar、LED行業的各種工藝

6、處理容量:600SLM-1600SLM

等離子水洗式廢氣處理設備參數

優勢特點

等離子水洗式廢氣處理設備具有多項優點：首先，它能夠處理多種難以降解的有害氣體，適用范圍廣；其次，設備運行穩定，凈化效率高，能夠滿足嚴格的環保要求；再者，該設備結合了等離子體的高能量特性和水洗的物理吸收作用，實現了高效的廢氣凈化。

1、低功率，高性能

2、出色的PFC氣體處理效率

3、通過配置靜電除塵系統，達到超過99%的副產物顆粒處理效率

4、等離子火炬使用壽命長

5、出色的防腐蝕設計

6、自動模式，使用簡便

7、主要應用行業:Semi、FPD、Solar、LED

8、主要應用工藝:Etch/CVD等