特氣柜是一種專為供應特種氣體而設計的設備，廣泛應用于半導體、光電子、太陽能、醫藥等行業。特種氣體通常具有易燃、易爆、有毒、腐蝕性等特性，因此特氣柜的設計需要滿足高標準的安全性和穩定性要求。
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特氣柜是一種專為儲存和處理特種氣體而設計的高端設備，廣泛應用于半導體制造、LED制造、化學實驗、工業生產等領域。它具備自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷等功能，確保氣體的安全使用和儲存。
| PN2入口壓力 | 80PSI，1/4 MALE VCR接口 |
| GN2入口壓力 | 80PSI，1/4 MALE VCR接口 |
| CDA入口壓力 | 4-10bar，1/4卡套接口 |
| VENT | 1/2VCR接口 |
| 工藝氣體出口 | 兩路1/4 MALE VCR接口 |
| 特氣柜柜體換氣量 | SiH4-1200次/小時，其余300次/小時 |
| 電源 | 220V（半自動） |
| 防爆玻璃觀察窗 | 標配 |
| 按瓶數分類 | 單瓶柜(架)/二瓶柜(架) |
| 按操作方式分類 | 手動、半自動 |
| 特氣柜尺寸 | 800mm長——540mm寬——1800mm高（可根據客戶要求定制） |
| 控制柜尺寸 | 800mm長——230mm寬——320mm高 |
1、氣路配件，接頭、閥門等全部是進口電子級材料，管道為316L，自動軌道焊接。
2、氣路設計合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能，氣瓶柜留有排氣口，并具有負壓檢測。根據實際需要可安裝稱重、加熱等裝置。
3、氣瓶柜箱體采用安全設計，所選用的材料適用于各種不同性質的氣體，美觀，緊湊，安全，質優價廉，可按照客戶要求定制。
4、完善的安全報警裝置，具有氣體泄漏檢測報警(如SiH4、PH3、HOL等泄漏報警)報警信號被觸發時，自動切斷。
5、內部管路采用BA/EP級316L潔凈管路，VCR5件套，彎頭，三通，隔膜閥。
6、內部零件品牌有美國Swagelok，APTECH，PARKER,; 韓國 TK，UNI-LOK ;日本FJK，KITZ。
7、交貨期短，常用配件備有大量庫存。
8、完善的售前、售后服務，贏得客戶認可。
可以為 MOCVD、PECVD、刻蝕機等設備配套，應用于半導體、太陽能電池、生物工程、微電子等行業。
我們建有300平米千級潔凈間，并且通過了ISO9001和ISO14001質量體系認證。我們追求精益求精，用品質贏得客戶信任。
對供應商的所有原材料嚴格執行驗收
生產過程中，每完成一道工序均進行嚴格的質量監測
遵循出廠檢驗報告，逐項監測，確保交付設備穩定運行
