流化床氣相沉積反應器FB-CVD

反應器內的粉體材料在載氣的帶動下形成流化態,再進行包覆、燒結等工藝。以流化床為反應器的CVD工藝具有包覆均勻等特點。

設備簡述

FB-CVD的優勢1、流化床反應器的傳熱和傳質系數高,比傳統的固定床反應器和移動床反應器高1個數量級以上。

2、流化床反應器反應區溫度均勻,所以對于強熱效反應熱擴散和熱補充都有著明顯的優勢。

3、因反應區的溫度控制均勻,相比于固定床反應器,流化床反應器在控溫反應的溫度精度一致性上

4、流化床反應器的單位產能大,因為能效和接觸充分，單位床層的生產能力遠遠大于傳統的固定床有著不可替代的優勢。

5、因為反應區質點均處于流動態，易于物料的加注和卸出，對于能耗和生產效率都有明顯的提升反應器和移動床反應器。

6、設備采用自動化控制更加接近于商業化設備，并明顯提高性能穩定性。

7、設備采用一體化設計,滿足防爆需求。