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特氣柜(Gas Cabinet),氣體流量控制箱(BSGS),氣瓶架(Rack)、閥門箱(VMB),閥門盤(VMP),氣體混合系統(tǒng)(GAS BOX)。
主要應(yīng)用于:半導(dǎo)體,太陽能電池,微電子等需要高純氣體的行業(yè),用于為PECVD,MOCVD等設(shè)備提供潔凈,安全的氣體。
有:單瓶柜,雙瓶柜兩種。
控制有全自動(dòng)型,半自動(dòng)型和手動(dòng)型三種。
內(nèi)部管路采用BA/EP級316L潔凈管路,VCR5件套,彎頭,三通,隔膜閥。
內(nèi)部零件品牌有美國Swagelok, APTECH,PARKER,; 韓國 TK, UNI-LOK ;日本FJK, KITZ。
我們建有300平米千級潔凈間,并且通過了ISO9001和ISO14001質(zhì)量體系認(rèn)證。我們追求精益求精,用品質(zhì)贏得客戶信任。
對供應(yīng)商的所有原材料嚴(yán)格執(zhí)行驗(yàn)收
生產(chǎn)過程中,每完成一道工序均進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量監(jiān)測
遵循出廠檢驗(yàn)報(bào)告,逐項(xiàng)監(jiān)測,確保交付設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行